超聲清洗是種清除較強點附污染的方法。 這種比較新的工 藝產生強的物理清洗作用，因而是振松與去除表面強黏合污染物的常有效的技術，既可采用無機酸性、堿性和中性清洗液，也可采用有機液。清洗是在盛有清洗液的不銹鋼容器中進行的，容器底部或側壁裝有換能器，這些換能器將輸人的電振蕩轉換成機械振動輸出。玻璃主要在20~40 kHz頻率下進行清潔，這些聲波的作用是在玻璃表面與清潔液界面處引起空化作用，由小的內向爆裂氣泡所產生的瞬間壓力可達約100MPa. 顯而易見，空化作用是這樣一個系統中的主要機理，雖然有時也用清洗劑加速乳化或使被釋放出來的粒子分散。除了其他一些因素， 輸人功率的增加將在表面產生一種較高成穴密度，這反過來又提高了清潔效率，超聲清洗也是一一個迅速的過程，約在幾秒到幾分鐘之間。超聲清洗用來清除已經過光學加工的玻璃表面的瀝青和拋光劑殘渣。由于它還經常用于產生殘留物很少的表面的清洗工序，所以清洗設備通常放在清潔室內而不放在加工場所。