溶膠-凝膠法也稱為凝膠浸鍍法，用凝膠浸鍍法從溶液中制備氧化物薄膜，也是一種較老的方法。1846年法國化學家J.J. Ebelmen用SiCl4與乙醇混合后，發現在濕空氣中發生水解并形成了凝膠。20 世紀30年代w. Geffcken證實用金屬醇鹽的水解和凝膠化可以制備氧化物薄膜。1975 年B. E. Yoldas和M. Yamane制得多孔透明氧化鋁薄膜。20 世紀80年代以來，在玻璃上制得復合氧化物薄膜。